Title (eng)
Structure of ultrathin amorphous carbon films
Parallel title (deu)
Struktur von ultradünnen amorphen Kohlenstoff-Filmen
Author
David Lindner
Advisor
Jannik C. Meyer
Assessor
Jannik C. Meyer
Abstract (deu)
In dieser Arbeit wird die atomare Struktur von ultradünnen amorphen Kohlenstoffilmen untersucht. Diese Filme werden hergestellt, indem Kohlenstoff im Vakuum auf einen Salzkristall aufgedampft wird. Darauf werden die Filme auf einen Probenhalter transferiert, der es ermöglicht freistehende Teile des Films im Mikroskop zu analysieren. Die Filme werden dann im TEM erstmals betrachtet, wobei auch die Beugungsbilder in die Analyse mit einfließen. Daraufhin werden die Filme im STEM untersucht, das Bilder mit atomarer Auflösung ermöglicht. Diese Bilder werden dann für eine Ringstatistik herangezogen, die Auskunft über die Amorphität der Probe gibt. Die daraus berechnete Kristallinität ergibt sich zu C=0.597. Außerdem wird eine AFM-Analyse durchgeführt, um die Dicke der Kohlenstoffilme zu messen und mit den Werten zu vergleichen, die das Quartz-Dickenmesssystem liefert, das am Verdampfer installiert ist.
Abstract (eng)
In this thesis the atomic structure of ultrathin amorphous carbon films is studied. The films are created by evaporating carbon onto a salt crystal under vacuum. They are then transferred to a grid which provides free-standing areas of the film for microscopic analysis. The films are then observed in the TEM for a first analysis considering also the electron diffraction patterns. Afterwards, the films are investigated in the STEM which allows to record images with atomic resolution. These images are analysed by doing ring statistics which provide information about the amorphousness of the carbon films. The calculated crystallinity of the films results as C=0.597. Additionally, AFM analysis is done to estimate the thickness of the carbon films and to compare the results to the information provided by the quartz thickness measurement system installed at the evaporator.
Keywords (eng)
amorphous carbon filmsatomic structure
Keywords (deu)
amorphe Kohlenstoff-Filmeatomare Struktur
Subject (deu)
Type (deu)
Persistent identifier
https://phaidra.univie.ac.at/o:1317600
rdau:P60550 (deu)
45 S.
Number of pages
55
Association (deu)
Title (eng)
Structure of ultrathin amorphous carbon films
Parallel title (deu)
Struktur von ultradünnen amorphen Kohlenstoff-Filmen
Author
David Lindner
Abstract (deu)
In dieser Arbeit wird die atomare Struktur von ultradünnen amorphen Kohlenstoffilmen untersucht. Diese Filme werden hergestellt, indem Kohlenstoff im Vakuum auf einen Salzkristall aufgedampft wird. Darauf werden die Filme auf einen Probenhalter transferiert, der es ermöglicht freistehende Teile des Films im Mikroskop zu analysieren. Die Filme werden dann im TEM erstmals betrachtet, wobei auch die Beugungsbilder in die Analyse mit einfließen. Daraufhin werden die Filme im STEM untersucht, das Bilder mit atomarer Auflösung ermöglicht. Diese Bilder werden dann für eine Ringstatistik herangezogen, die Auskunft über die Amorphität der Probe gibt. Die daraus berechnete Kristallinität ergibt sich zu C=0.597. Außerdem wird eine AFM-Analyse durchgeführt, um die Dicke der Kohlenstoffilme zu messen und mit den Werten zu vergleichen, die das Quartz-Dickenmesssystem liefert, das am Verdampfer installiert ist.
Abstract (eng)
In this thesis the atomic structure of ultrathin amorphous carbon films is studied. The films are created by evaporating carbon onto a salt crystal under vacuum. They are then transferred to a grid which provides free-standing areas of the film for microscopic analysis. The films are then observed in the TEM for a first analysis considering also the electron diffraction patterns. Afterwards, the films are investigated in the STEM which allows to record images with atomic resolution. These images are analysed by doing ring statistics which provide information about the amorphousness of the carbon films. The calculated crystallinity of the films results as C=0.597. Additionally, AFM analysis is done to estimate the thickness of the carbon films and to compare the results to the information provided by the quartz thickness measurement system installed at the evaporator.
Keywords (eng)
amorphous carbon filmsatomic structure
Keywords (deu)
amorphe Kohlenstoff-Filmeatomare Struktur
Subject (deu)
Type (deu)
Persistent identifier
https://phaidra.univie.ac.at/o:1317601
Number of pages
55
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