Abstract (deu)
Niedrigdimensionale Materialien, wie Graphen, Übergangsmetalldichalkogenid Monoschichten und Kohlenstoffnanoröhren sind aufgrund ihrer einzigartigen Eigenschaften Gegenstand aktueller Forschung. Damit diese Materialien ihr gesamtes Potential entfalten können, müssen ihre Eigenschaften für die Verwendung in modernen Anwendungen zugeschnitten werden. Eine Möglichkeit dies gezielt durchzuführen ist die Bestrahlung mit Elektronen oder Ionen. Einerseits kann aberrationskorrigierte Rastertransmissionselektronenmikroskopie (STEM) dazu verwendet werden solche veränderten Strukturen abzubilden, andererseits hat sich gezeigt, dass man mithilfe dieser auch in der Lage ist einzelne Fremdatome innerhalb eines kovalent gebundenen Materials gezielt zu verschieben. Zuerst wurde gezeigt, dass es möglich ist durch Beschuss mit niedrigenergetischen Ionen Germanium als Fremdatom in Graphen zu implantieren. Atomar aufgelöste STEM Bilder zeigen, dass Germaniumatome trotz ihrer Größe einzelne Kohlenstoffatome substituieren können. Da die Verunreinigung der Proben durch die Bestrahlung eine der größten Herausforderungen bei der skizzierten Vorgangsweise ist, wurde ein Vakuumglühverfahren entwickelt, um den Verunreinigungsprozess abzuschwächen. Außerdem wurden Nanoporen in Molybdän und Wolframdisulfid mittels hochionisierter Xe Atome erzeugt. Durch verändern der Bestrahlungsparameter konnte die Größe der Poren kontrolliert werden. Weiters wurde gezeigt, dass Nanoporen auch intrinsisch an Korngrenzen von Molybdändisulfid vorkommen und deren Größenverteilung vom Missorientierungswinkel zwischen den Körnern abhängt. Zuletzt wurde ein STEM verwendet, um elektronenstrahlinduzierte Dynamiken verschiedener Heteroatome in Graphen und einwandigen Kohlenstoffnanoröhren, sowohl zu beobachten als auch mit atomarer Präzision zu kontrollieren. Atomar aufgelöste Bilder zeigen Prozesse, bei denen sich die Anzahl der Atome ändert, als auch solche bei denen diese konstant bleibt. Dies hat Auswirkungen auf die Herstellung von Nanostrukturen. Der Elektronenstrahl wurde verwendet, um Silizium und Phosphor Fremdatome in Graphen gezielt zu verschieben. Einzelne Silizium Fremdatome konnten kontrolliert hunderte Gitterstellen weit verschoben werden. Dies wurde auch in einwandigen Kohlenstoffnanoröhren gezeigt. Auch mit manueller Steuerung ist die elektronenstrahlinduzierte Sprungrate der Fremdatome auf einer Ebene mit anderen hochmodernen atomar auflösenden Methoden, wie Rastersondenmikroskopie. Dies zeigt das enorme Potential von STEM für die Nanotechnik.